CO združuje velik izbor sodobne opreme, ki je uporabna za razvoj nanotehnologije, še posebej za analizo nanodelcev, nanomaterialov in površin.

Mikroskop na atomsko silo (AFM) v kombinaciji z obstoječim vrstičnim elektronskim mikroskopom omogoča zadostno ločljivost pri izdelovanju vezij. Vrtljivi nanašalnik z vakuumskim sistemom je nepogrešljiv pri nanašanju elektronsko občutljivih kemijskih resistov na silicijeve rezine. Z naprševalnikom kovin natančno nanesemo tanko kovinsko prevleko na obdelane silicijeve rezine ter tako izdelamo vezja.Z mikrospajkalnikom povežemo izdelana vezja z merilnimi napravami; ker so vezja majhna je takšna naprava nujna

 

S pomočjo elektronskega snopa je mogoče risati vezja z ločljivostjo manj kot 100 nm. Naprava, ki smo jo razvili iz  elektronskega mikroskopa, je že v rutiski uporabi.

 

V nanotehnologiji so povezave med makro- in mikro- oz. nanosvetom ključnega pomena. Pri raziskovanju snovnih lastnosti novih nanosnovi že uveljavljene makrometode, ki merijo kolektivne lastnosti nanodelcev, niso več primerno orodje za določanje karakteristik  posameznih nanodelcev. Nanopisalnik skupaj s pripadajoči nanolotografijo, pa s svojo resolucijo posega v območja nanodimenzij, s čimer uspešno premosti velikostne razlike med svetom nanodelcev in merilnimi napravami, s katerimi merimo jnihove snovne lastnosti. Skupaj z mikroskopom na atomsko silo sta osnovna instrumenta nanotehnologij tudi v širšem smislu, saj omogočata snovanje bogatih poskusov, ki s svojimi rezultati napovedujejo možnosti aplikacij v industriji.

Nanolitografski sistem – mikroskop na atomsko silo

Tipalni mikroskop Dimension 3000 nabavljen iz sredstev ESRR združuje zmožnost doseganja nanometrskih ločljivosti z uporabniku prijaznim načinom delovanja.

 

Ostra konica s pomočjo piezokristalov skenira površino in beleži njeno topografijo na podlagi sil med konico in površino ali tunelskega električnega toka. Različni tipi konic omogočajo tudi merjenje električne prevodnosti in drugih električnih in magnetnih lastnosti preiskovane površine. Delo poteka pri sobni temperaturi na zraku, s posebnim nastavkom je mikroskop pripravljen tudi na delo v vodnih raztopinah, kar je zlasti primerno za biološke vzorce.

Za več informacij kontaktirajte: marko.uplaznik@ijs.si

Center odličnosti: Nanoznanosti in nanotehnologija

Text Box: Projekt delno sofinancira Evropska unija (ESRR)

ENG