CO združuje velik izbor sodobne opreme, ki je uporabna za razvoj nanotehnologije, še posebej za analizo nanodelcev, nanomaterialov in površin.

Za več informacij kontaktirajte:

Barbara.malic@ijs.si

Priprava plastnih struktur

Center odličnosti: Nanoznanosti in nanotehnologija

Text Box: Projekt delno sofinancira Evropska unija (ESRR)

ENG

Na Odseku za elektronsko keramiko smo posodobili in povečali čiste prostore ter na ta način zagotovili pogoje za delo z zahtevnejšimi vzorci, to so plasti na podlagah večjih dimenzij in tanjše plasti debelin nekaj 10 nm.

Brezprašne komore Zaščitni mikrobiološki komori M15 in M12 sta namenjeni delu s strupenimi organskimi topili, predvsem z eter-alkoholi, imata dvostopenjsko filtracijo zraka (glavni in absolutni izhodni filter H14-EN1822), s katere dosežemo 99,999 % odstranjevanje delcev do velikosti 0.3 mm iz zraka. Komori sta mikroprocesorsko kontrolirani. Stojita v laboratoriju, namenjenem pripravi tankih plasti iz raztopin. V eno od komor je vgrajena naprava za nanašanje tankih plasti z debelinami od nekaj 10 do nekaj 100 nm z metodo vrtenja (spin-coating).

Laminarna vertikalna komora LFV 12 je opremljena s predfiltrom in delovnim absolutnim filtrom H14-EN1822. Uporabljamo jo za nanašanje keramičnih na različne nosilce s tehnologijo sitotiska. V komori je naprava za ročno pripravo vzorcev manjših dimenzij, običajno 12.5 mm x 12.5 mm. Ventilatorsko-filtrski (VF) modul je pritrjen nad mikroprocesorsko krmiljeno napravo za sitotisk in zagotavlja v območju delovnega procesa čistočo zraka razreda 100.

Posnetki prenovljenega laboratorija za pripravo tankih plasti: a) pogled v laboratorij, b) brezprašna komora z napravo za nanašanje tankih plasti in grelnimi ploščami, c) peč za hitro žganje, optični mikroskop in UV luč (od leve proti desni).

Ventilatorsko-filtrski (VF) modul in odsesovalni sistem zraka

Ventilatorsko filtrski modul je pritrjen na dovodno cev za zrak v prostor, kjer stojita mikrobiološki komori M12 in M15 (glej investicijo št. 10). V laboratorij spušča zrak skozi HEPA filter, tako dosežemo razred čistosti 100 000 (Fed. Std.209E), poleg tega s primerno velikim pretokom zagotavlja rahel nadtlak glede na okoliške prostore.

Med pripravo tankih plasti se poveča delež hlapov strupenih organskih topil. Zato smo laboratorij opremili z odsesovalnim sistemom zraka (napo), nameščeno nad izpušnim sistemom mikrobiološke komore, ki ki zajema in odvaja kontaminirani zrak iz laboratorija.