Izdelali smo laboratorijsko napravo za nanolitografijo; gre za elektronski vmesnik med računalnikom in elektronskim mikroskopom, ki ga krmilimo z ustrezno programsko opremo. 

 

Naprava za nanolitografijo nam je omogočila izdelavo drobnih elektronskih vezij, ki smo jih lahko uporabili za meritev lastnosti nanomaterialov.

 

Elektronska vezja z vgrajenimi nanomateriali so zanimiva zaradi svoje odzivnosti na zunanje parametre (temperatura, sestava ozračja,...).

 

V slovenskem prostoru smo postavili nove metode karakterizacije nanostrukturiranih hladnih emiterjev.

 

S pomočjo elektroforeze smo uspeli vgraditi elektronski emiter v miniaturno elektronsko puško, ki smo jo uspešno testirali v elektronskem mikroskopu s prikazanim uspehom. 

 

Merjenja časovne odvisnosti fotovzbujenih nosilcev naboja smo uporabili pri preiskavi električnih nosilcev naboja v tankoslojnih organskih tranzistorjih.

 

 Na področju transientnih meritev smo ugotovili, da se po časovna odvisnost toka fotovzbujenih nosilcev naboja ujema z hipotezo o nehomogenem električnem polju v aktivni plasti.

Center odličnosti: Nanoznanosti in nanotehnologija

 

Nanoelektronika in naprave za nanotehnologijo

Ključni dosežki na projektu

Text Box: Projekt delno sofinancira Evropska

ENG

Za potrebe projekta je bil kupljen galvanometrski odklonski sistem za xy pozicioniranje laserskega žarka. Uporablja se za testiranje krmilnih funkcij programske opreme nanorisalnika, ki so na ta način neodvisno stestirane in kasneje združene s strojno opremo nanorisalnika.

Trodimezionalni posnetek lukenj velikosti 1x1 mikron, 1.5 mikrona narazen v elektronskem resistu na steklu.

Celoten laserski sistem, v katerem se za odklon žarka uporablja galvometerski sistem